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工具鍍膜機
    發佈時間: 2021-02-17 13:50    
工具鍍膜機

    PVD1050-8型多弧離子鍍膜機是專門爲工具（功能）鍍膜應用開發的計算機自動控制離子鍍膜機，適用於切屑刃具、模具等鍍膜生產，可獲得更好的膜層質量和耐蝕性能等。

    設備可在450~500℃高溫下長期穩定的運行

    配置離子源清洗，加裝擋板，實現離子轟擊清洗，輔助沉積

    配有步進電機驅動轉架，實現精確定位，轉架可拉出便於裝卸工件

    配有φ155大弧源，特點：膜層組織細膩，顆粒小，先進的電磁掃描磁場，弧斑運動速度更快、實現高效濺射。

    4縱列弧源配置，可沉積2種不同材料膜系且膜層均勻。

    寬水道加強設計，超強剛性，爐體水冷效果好。





高端配置：
萊寶真空單級泵SV200
霍廷格脈衝偏壓36KW
弧電源（IGBT模塊）
萊寶高真空分子泵 MAG2200
VAT氣動插板閥
英福康CDG045D薄膜規
德國BERKERT寶得氣體質量流量計8711型
三菱FX系列PLC邏輯控制器及功能模塊


 技術參數：

   真空室內尺寸：φ1050x1200
   極限真空度：5x10-4Pa
   空恢時間：大氣抽到6.7x10-3Pa≤20min
   壓升率：≤0.5Pa/h
   佔地空間：L3.6×W3.3×H2.5m3
   裝機容量：約180KW

   主要配置：

   弧源：φ155大弧源，8套
   離子源： 霍爾離子源或大功率弧光柱型離子源
   加熱方式：盤管式加熱器，分區加熱
   工件架：下轉架，行星公自轉結構，採用交流伺服電機驅動
   控制方式：PLC/觸摸屏控制
   脈衝偏壓：40KW
   弧電源：200A

   主要膜層：TiN  ALTiN  TiAlSIN  TiCN 
                   AlCrN  CrN  DLC（選配）


   真空系統配置：

   高真空泵：F-3600分子泵
   預抽泵：RTO-300 羅茨泵
           2XT-70旋片泵